高純氮氣純度:99.999%
純化方法:
氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在生產(chǎn)中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。
用途:
在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術(shù)中,液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。